■ 재질 : PC (Polycarbonate)
■ Shipping Box 가장자리에 Wafer를 고정 시켜 주는 Spring이 부착되어 있음
■ PC 재질로 투명하여 Box를 열지 않고 안을 볼수 있음 (팔각형 모양)
■ Entegris
상세 규격 표
Cat. No. Model Overall Size (w×d×h) Wafer
K9368SY H93-40-101-1116 127×112×20mm 4”
K9368SZ H93-60-101-1116 175×160×20mm 6”
K9368TA H93-80-101-1116 226×213×20mm 8”
K9368TB H93-120-101-1116 336×340×50mm 12”